2,2-二氟-3-(甲基丙烯酰氧基)戊酸乙酯
2，2-二氟-3-(甲基丙烯酰氧基)戊酸乙酯，CAS号:1092693-69-0，分子式C11H16F2O4，是一种含氟甲基丙烯酸酯类单体。分子量250.24，常温下为无色透明液体，需在2~8℃冷藏密封保存。
该化合物是合成高端光刻胶的关键含氟单体，广泛应用于半导体制造、平板显示及微电子器件精密加工等领域。分子中的二氟基团能有效降低材料介电常数并增强抗蚀性，使其非常适用于193nm及更先进的光刻工艺，满足高分辨率、低线宽边缘粗糙度的苛刻要求。此外，它也作为有机氟化试剂用于含氟聚合物制备，并在显示面板、集成电路等领域的细微图形加工作业中发挥重要作用。
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